![]()
300mm EFEM
CÔNG TY TNHH DỊCH VỤ KỸ THUẬT TỰ ĐỘNG HÓA LÂM TUỆ ĐỨC (LTD AUTOMATION)
Đối tác chiến lược: SINFONIA
Dịch vụ: Tư vấn - Phân phối - Hỗ trợ kỹ thuật 24/7.
📍 Địa chỉ: 688/44/2 Lê Đức Thọ, Phường 15, Quận Gò Vấp, TP. Hồ Chí Minh
📞 Hotline: 0914 237 179 ( Mr. Nghĩa )
📧 Email: project@ltdautomation.com.vn
🌐 Website: https://ltdautomation.com.vn/
Công ty TNHH Dịch vụ Kỹ thuật Tự động hóa Lâm Tuệ Đức (LTD Automation) là đại diện phân phối chính hãng và cung cấp dịch vụ sửa chữa chuyên sâu dòng SINFONIA 300mm EFEM thuộc SELME Series, xử lý wafer chính xác cao từ thương hiệu SINFONIA TECHNOLOGY.
SINFONIA 300mm EFEM thuộc dòng SELME là hệ thống giao diện thiết bị được thiết kế để hỗ trợ vận chuyển và xử lý wafer trong dây chuyền sản xuất bán dẫn. Hệ thống nổi bật với độ chính xác xử lý wafer ±0,05 mm, thiết kế hạn chế hạt bụi (cấp độ sạch Class 1) và hỗ trợ linh hoạt cấu hình 3 Load Port. Tại Việt Nam, Công ty TNHH Dịch vụ Kỹ thuật Tự động hóa Lâm Tuệ Đức (LTD Automation) tự hào là đơn vị phân phối chính hãng uy tín, đồng thời sở hữu đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm chuyên cung cấp dịch vụ bảo trì, kiểm tra lỗi và sửa chữa thiết bị SINFONIA TECHNOLOGY chuyên sâu cho các nhà máy.
SINFONIA 300mm EFEM SELME đóng vai trò kết nối khu vực tiếp nhận wafer với thiết bị xử lý, giúp tự động hóa quá trình đưa wafer vào và lấy wafer ra khỏi hệ thống một cách an toàn và chính xác. Thông qua Công ty TNHH Dịch vụ Kỹ thuật Tự động hóa Lâm Tuệ Đức (LTD Automation), nhà máy tại Việt Nam được cung cấp thiết bị mới chính hãng, đồng thời nhận hỗ trợ trọn gói dịch vụ bảo dưỡng định kỳ, kiểm tra lỗi và sửa chữa kỹ thuật cao.
| Hạng mục thông số | Chi tiết kỹ thuật thiết bị |
|---|---|
| Thương hiệu / Dòng sản phẩm | SINFONIA TECHNOLOGY / SELME Series (300mm EFEM) |
| Kích thước wafer hỗ trợ | Wafer 300 mm (Hỗ trợ 200 mm và wafer thạch anh theo cấu hình) |
| Độ chính xác xử lý wafer | ±0,05 mm |
| Cấp độ sạch được công bố | Class 1 (Thiết kế hạn chế hạt bụi bám mặt sau wafer) |
| Cấu hình Load Port | 3 Load Port tiêu chuẩn (Có tùy chọn mở rộng mô-đun và N₂ purge) |
| Phương thức xử lý wafer | Vacuum-less hoặc vacuum wafer handling tùy chọn |
Định vị và vận chuyển wafer cực kỳ chính xác với sai số chỉ ±0,05 mm, đáp ứng hoàn hảo các tiêu chuẩn khắt khe của sản xuất bán dẫn.
Hệ thống hạn chế tối đa hạt bụi bám ở mặt sau wafer với phương thức vacuum-less hoặc vacuum tùy chọn, bảo vệ chất lượng phôi tuyệt đối.
Tích hợp 3 Load Port tiêu chuẩn cùng tùy chọn mở rộng mô-đun, N₂ purge và thiết kế đáp ứng các yêu cầu chống ăn mòn nghiêm ngặt.
Công ty TNHH Dịch vụ Kỹ thuật Tự động hóa Lâm Tuệ Đức (LTD Automation) đồng hành cùng các nhà máy bán dẫn tại Việt Nam với dịch vụ kỹ thuật toàn diện:
Quý khách có thể mua sản phẩm chính hãng trực tiếp tại Công ty TNHH Dịch vụ Kỹ thuật Tự động hóa Lâm Tuệ Đức (LTD Automation) - đại lý phân phối thiết bị SINFONIA TECHNOLOGY uy tín hàng đầu tại Việt Nam.
Có. Lâm Tuệ Đức cung cấp dịch vụ kiểm tra, bảo dưỡng và sửa chữa chuyên sâu các lỗi cơ khí robot, định vị wafer, hệ thống khí và bo mạch điều khiển của SELME Series.
Đội ngũ kỹ sư tại Lâm Tuệ Đức luôn sẵn sàng hỗ trợ kiểm tra mã sản phẩm, khảo sát tình trạng thiết bị cần sửa chữa, cung cấp tài liệu kỹ thuật và gửi báo giá nhanh chóng qua hotline 0914 237 179.
Theo thông tin từ SINFONIA TECHNOLOGY, hệ thống đạt độ chính xác xử lý wafer là ±0,05 mm.
Hệ thống đạt cấp độ sạch Class 1, được thiết kế để hạn chế tối đa hạt bụi bám ở mặt sau wafer.
Cấu hình tiêu chuẩn gồm 3 Load Port, đồng thời có hỗ trợ tùy chọn mở rộng mô-đun theo yêu cầu bố trí của nhà máy.
Có. Tùy chọn lắp đặt Load Port hỗ trợ chức năng N₂ purge có sẵn để doanh nghiệp xem xét theo yêu cầu quy trình.
Tất cả sản phẩm phân phối và dịch vụ sửa chữa tại Lâm Tuệ Đức đều được áp dụng chính sách bảo hành uy tín, hỗ trợ kỹ thuật và bảo dưỡng nhanh chóng theo quy định.
Quý khách vui lòng liên hệ Hotline 0914 237 179 của Lâm Tuệ Đức hoặc truy cập website ltdautomation.com.vn để được đội ngũ kỹ sư hỗ trợ tận tâm 24/7.
Liên hệ ngay với đội ngũ kỹ sư Lâm Tuệ Đức để nhận thông tin kỹ thuật chi tiết, tư vấn chọn mã thiết bị phù hợp, dịch vụ sửa chữa chuyên sâu và báo giá chính hãng.
Giá: Liên hệ
Giá: Liên hệ
Giá: Liên hệ
Giá: Liên hệ
Giá: Liên hệ
Giá: Liên hệ
Giá: Liên hệ
Giá: Liên hệ
thông tin liên hệ
CÔNG TY TNHH DỊCH VỤ KỸ THUẬT TỰ ĐỘNG HOÁ LÂM TUỆ ĐỨC
MST: 0318175058
Địa Chỉ : 688/44/2 Lê Đức Thọ, Phường 15, Quận Gò Vấp, Thành phố Hồ Chí Minh, Việt Nam.
Tel: (+84) 028 3517 6474
Hotline : 0909 352 877 (Mr. Nhật) - 0914 237 179 (Mr. Nghĩa)
Email: salesupport@ltdautomation.com.vn
Đăng ký nhận tin