Đầu dò đo oxy XS22.51H-140 , Đầu dò chân không Zirox, Zirox Viet Nam

Đầu dò đo oxy XS22.51H-140 (Item No: 21299) là một loại đầu dò chân không do ZIROX GmbH phát triển, chuyên dùng để đo nồng độ oxy trong các quá trình chân không như PVD, sputtering, hoặc các ứng dụng xử lý bề mặt trong môi trường áp suất thấp.

🔧 Thông số kỹ thuật chính:

• Chiều dài lắp đặt: 140 mm (có thể tùy chọn đến 300 mm)

• Đường kính: 6 mm (với ống bảo vệ: 16 mm)

• Nhiệt độ hoạt động của cảm biến: 700 °C (điều khiển điện tử)

• Nguồn cấp: 24 V DC ±10%

• Công suất sưởi: 30 W

• Dải áp suất: từ 1.5 × 10⁵ đến 1 × 10⁻⁵ Pa

• Tín hiệu đầu ra: 0–20 mA (tương ứng với 0–400 mV hoặc 0–1200 mV)

• Độ chính xác: sai số tương đối < 5%

• Tốc độ dòng khí tham chiếu: 5–10 l/h (bằng bơm tích hợp)

• Flange kết nối: KF40 (có thể tùy chọn loại khác)

• Ứng dụng: đo oxy trong các hệ thống chân không, nghiên cứu vật liệu, xử lý bề mặt, plasma, v.v.

📌 Lưu ý sử dụng:

• Đầu dò không được hiệu chuẩn sẵn do ảnh hưởng của nhiệt độ và áp suất trong môi trường chân không.

• Cần hiệu chuẩn thực nghiệm để đảm bảo độ chính xác trong từng ứng dụng cụ thể