GM50A004102R4M020, Đồng hồ đo lưu lượng GM50A004102R4M020, Đại lý MKS Instruments Việt Nam

Thiết bị GM50A004102R4M020 của MKS Instruments là một bộ điều khiển lưu lượng khối lượng (Mass Flow Controller – MFC) thuộc dòng GM50A, được thiết kế để kiểm soát chính xác lưu lượng khí trong các hệ thống chân không và bán dẫn.

Mã sản phẩm: GM50A004102R4M020

Dòng sản phẩm: GM50A Series – Mass Flow Controller

Dải lưu lượng: 5 sccm đến 50,000 sccm (tùy cấu hình)

Ngõ ra tín hiệu: Analog (0–5 VDC hoặc 4–20 mA)

Giao tiếp tùy chọn: RS485, Profibus™, EtherCAT®, PROFINET, DeviceNet™

Độ chính xác: ±1% giá trị đặt trên khí hiệu chuẩn

Thời gian đáp ứng: < 750 ms

Áp suất đầu vào tối đa: 500 psi

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Vật liệu kín: Kim loại (metal-sealed) với van Teflon

Kết nối: Type D male 15-pin hoặc 9-pin tùy phiên bản