GM50A004151R4M020, Đồng hồ đo lưu lượng GM50A004151R4M020, Đại lý MKS Instruments Việt Nam

Thiết bị GM50A004151R4M020 là một bộ điều khiển lưu lượng khối lượng (Mass Flow Controller – MFC) thuộc dòng GM50A của hãng MKS Instruments, được thiết kế để kiểm soát chính xác lưu lượng khí trong các hệ thống công nghiệp và bán dẫn.

• Mã sản phẩm: GM50A004151R4M020

• Dòng sản phẩm: GM50A Series – Mass Flow Controller

• Dải lưu lượng: 5 sccm đến 50,000 sccm (tùy cấu hình, thường hiệu chuẩn theo khí N₂)

• Ngõ ra tín hiệu: Analog 4–20 mA

• Giao tiếp tùy chọn: RS485, Profibus™, EtherCAT®, PROFINET, DeviceNet™

• Độ chính xác: ±1% giá trị đặt trên khí hiệu chuẩn

• Thời gian đáp ứng: < 750 ms

• Áp suất đầu vào tối đa: 500 psi

• Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

• Áp suất nổ: 1500 psig

• Vật liệu kín: Kim loại (metal-sealed) với van Teflon

• Kết nối: Type D male 15-pin hoặc 9-pin tùy phiên bản